




LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體技術發(fā)展趨勢市場
隨著化合物半導體技術的日益成熟和產(chǎn)業(yè)化進程的加快,外延技術需要的超純特種氣體和有機源的研制和制造技術不斷提升。主要表現(xiàn)在:氣體和有機源的深度純化技術;氣瓶及管路內(nèi)壁的潔凈處理技術;ppm、ppb、ppt氣體雜質(zhì)檢測技術;ppb、ppt級金屬雜質(zhì)的凈化控制及分析檢測技術;排放尾氣的解1毒報警技術;一體化無污染供氣系統(tǒng)的建立;特種氣體混合氣的配制技術;配套器件技術以及0.01~0.002μm顆粒的測試過濾技術等。為了適應日益發(fā)展的下游產(chǎn)業(yè)的發(fā)展需要,特種氣體生產(chǎn)商在產(chǎn)品純化、灌裝、檢測等環(huán)節(jié)取得更多的創(chuàng)新技術。

在LED產(chǎn)業(yè)鏈中,外延技術、設備和材料是外延片制造技術的關鍵。當前MOCVD工藝已成為制造絕大多數(shù)光電子材料的基本技術。外延技術需要的超純特種氣體包括高純shen烷、高純磷烷、高純氨氣,shen化jia生產(chǎn)中應用硅1烷N型摻雜,特種氣體,而氯化1氫和氯1氣常常用做蝕刻氣,ya、氫、氮則是必須的載氣。同時外延生長需要的有機源主要是三甲1基jia,三甲1基銦,氣體哪家好,三甲1基鋁,二乙基鋅,二甲1基鋅,二茂鎂等。現(xiàn)有技術的發(fā)展對這些產(chǎn)品的品質(zhì)要求也越來越高。

據(jù)相關數(shù)據(jù)統(tǒng)計,氣體公司,目前我國特種氣體年銷售額中,天津氣體,電子行業(yè)約占40%,石油化工約占40%;醫(yī)1療環(huán)保約占10%,其它約占10%。以電子氣體為例,電子氣體是指用于半導體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。隨著我國高新技術、新型能源、新型電光源、光電半導體器件、光纖通訊器件的迅猛發(fā)展,將帶動電子特種氣體的發(fā)展。
目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。外資通過收購、新設等方式建立氣體公司,占據(jù)著行業(yè)主導地位。2010年,德國林德公司、法國液化空氣集團、美國空氣產(chǎn)品、美國普萊克斯等設立的獨資與合資企業(yè)以32.38%的數(shù)量占據(jù)著國內(nèi)特種氣體市場65.90%的銷售市場和83.08%的利潤市場。

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